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無(wú)掩膜光刻機(jī)UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無(wú)掩模曝光系統(tǒng)，其傳統(tǒng)系統(tǒng)（用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)） 可以使用專門為此目的開(kāi)發(fā)的軟件來(lái)創(chuàng)建想要的圖案。
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